4大学ナノ・マイクロファブリケーション コンソーシアム シンポジウム 本文へジャンプ

実例に見る4大学コンソにおける
各設備の活用事例

◆主催:4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム
◆共催:(公財)神奈川科学技術アカデミー,川崎市
◆後援:(公財)川崎市産業振興財団、川崎市工業団体連合会(予定)

会場:新川崎・創造のもり地区 K2タウンキャンパス 大会議室
参加費:無料


多くの方々にご参加いただき、活発な討論と有意義な意見交換の場となりました。
ご関係の皆様に厚く御礼を申し上げます。



開会の挨拶(菱田公一 慶應義塾大学・教授)


シンポジウムの様子


ナノ・マイクロ川崎スクールの概要と今後の取り組みについて
(谷下一夫 早稲田大学・教授)


閉会の挨拶(丸山茂夫 東京大学・教授)

配布用案内(PDFファイル)はこちら


シンポジウム開催の趣旨

4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムは大学・地方自治体・産業界が連携する新しい形の研究教育拠点です。新川崎・創造のもり地区において、ナノ・マイクロスケールの微細加工、評価・解析の各設備を整備し、産官学への開放利用を開始しました。本シンポジウムでは、どなたでもわかるように、各設備で何ができるのか、ということに焦点を当て、活用事例とともにご紹介いたします。現地での見学会も計画しています。新たなものづくり拠点に少しでもご興味がおありの方のご参加をお待ちしています。

プログラム

<オープニング> 13:30-13:55

開式の挨拶

菱田 公一 (慶應義塾大学理工学部・教授

13:30-

  13:35

4大学コンソならびにNANOBICの概要

設備概要と利用方法について

杉井 康彦 (東京大学大学院工学系研究科・特任准教授)

13:35-

   13:55

4大学コンソにおける各設備の活用事例:バイオ分野> 13:55-14:55

ナノスケールの流路をつくり1分子を計測する

ソフトマテリアルデバイスの開発 −加工・評価編−

関連設備:フォトリソ関連装置,アッシング,チューブ接合等

13:55-

   14:15

ポリマー材料を高解像度でパターニングする

ナノインプリント装置を用いた高吸収性ポリマーのパターニング −高機能化編−

関連設備:ナノインプリント装置,雰囲気制御型SEM

14:15-

   14:35

ナノ・マイクロスケールで流体の動きを測る

マイクロ流体デバイスの設計・評価-計測システム開発編-

関連設備:マイクロ・ナノ流体計測(PIV)システム

14:35-

   14:55

<休 憩>  14:55-15:05

<企業による4大学コンソ機器設備の特徴の紹介> 15:05-16:10

ECRイオンビームスパッタ成膜装置・超高精細電子ビーム描画装置

株式会社 エリオニクス

15:05-

   15:20

ナノインプリント装置

SCIVAX株式会社 

15:20-

   15:35

超低真空走査電子顕微鏡

株式会社 島津製作所  

15:35-

   15:50

クラスタ型コータ・デベロッパ

ズース・マイクロテック株式会社

15:50-

   16:05

白色光干渉型顕微鏡超解像度表面形状計測装置

ブルカー・エイエックスエス株式会社

16:05-

   16:20

<休 憩>  16:20-16:30

4大学コンソにおける各設備の活用事例:環境分野> 16:30-17:30

光技術とマイクロ加工を駆使して高感度センサーをつくる

光学式マイクロ熱物性センサーの開発−デバイス開発編−関連設備:3元マグネトロンスパッタ装置,クラスタ型コータデベ,両面マスクアライナ,シリコン深堀装置

16:30-

   16:50

新しいデバイスの形状と特性を高解像度で評価する

光学式マイクロ熱物性センサーの開発−分析編−

関連設備:光干渉式膜厚計、デクタク、レーザー顕微鏡、超解像度表面形状計測装置WYKO

16:50-

   17:10

積層複合材料の試料断面をつくり評価する

次世代燃料電池の開発−加工・分析編−

関連設備:クロスセクションポリッシャ、走査型電子顕微鏡

17:10-

   17:30

4大学コンソの今後の取り組み> 17:30-17:45

ナノ・マイクロ川崎スクールの概要と今後の取り組み

NANOBICを拠点とした産官学協働による人材育成

谷下 一夫 早稲田大学ナノ理工学研究機構・教授)

17:30-

   17:40

4大学コンソの機器設備を活用される企業の皆様の事業化への支援

唐澤 志郎 (公財))神奈川科学技術アカデミー・科学技術コーディネーター)

17:40-

   17:45

<クロージング> 17:45-18:00

全体質疑

17:45-

   17:55

閉会の挨拶
丸山 茂夫 (東京大学大学院工学研究科・教授

17:55-

   18:00

<懇親会> 18:00より 創造のもり地区内NANOBICにて


参加申込み方法

2014年度も4大学コンソーシアム・シンポジウムの開催を予定します。
詳細につきましては、随時、ホームページ上でお知らせいたしますので、
是非、ご参加ください。


お問い合わせ先:
東京工業大学 大学院理工学研究科  津島将司
●TEL&FAX:03-5734-3604 
●4大学コンソ ホームページ: http://www.nano-micro.sakura.ne.jp/home