2024年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催します。
本年度第７回として、シリコンの深掘り加工の原理や応用事例について講習を行ないます。
さらにNANOBICの装置を使って実習を行なっていただくことで、その技術を習得できます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。好評につき定員に達しました
日時：2024年７月４日（木） 13：30～16：30（講習１時間、実習２時間）
費用：13,000円
定員：先着５名程度
実習内容：シリコンの深掘り加工の体験実習
実習機器：シリコン深堀りDRIE装置 MUC-21（住友精密工業株式会社製）
講師 ：野﨑 義人 先生 （早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構 次席研究員）
場所 ：かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室１（川崎市幸区新川崎７-７ 新川崎・創造のもり）
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実習会参加申込： ▶ 申込フォーム 好評につき定員に達しました
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市