2024年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催します。
本年度第１２回として、パリレン蒸着装置を使った薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行ないます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。
※なお、第８回「ガラスエッチング」は都合により延期しています。開催時期は 未定 です。
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日時：2024年９月２６日（木） 13：30 ～ 16：30（講習１時間、実習２時間）
費用：13,000円
定員：先着５名程度
実習内容：パリレン蒸着装置を使った薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行ないます。
実習機器：パリレン蒸着装置 PDS-2010（日本パリレン合同会社製）
講師 ：高橋 英俊 先生（慶應義塾大学理工学部機械工学科准教授）
場所 ：かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室７（川崎市幸区新川崎７-７ 新川崎・創造のもり）
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主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市