2024年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
本年度第８回として、プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習と実際に装置を使った実習を行ないます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。
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日時：2024年１１月２１日（木） 13：30 ～ 16：30（講習１時間、実習２時間）
費用：13,000円
定員：先着５名程度
実習内容：プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて、原理の講習と実際に装置を使った実習を行ないます。
実習機器：高密度プラズマドライエッチング装置 NLD-570（株式会社アルバック 製造）
講師 ：塚原 剛彦 先生（東京科学大学 総合研究院 ゼロカーボンエネルギー研究所 教授）
場所 ：かわさき新産業創造センター NANOBIC会議室２（川崎市幸区新川崎７-７ 新川崎・創造のもり）
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主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市