2024年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
本年度第17回として、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行ないます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。
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日時：2024年１２月５日（木） 13：30 ～ 16：30（講習１時間、実習２時間）
費用：13,000円
定員：先着５名程度
実習内容：プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行ないます。
実習機器：4元マグネトロンサイドスパッタ装置 CFS-4EP-LL（芝浦メカトロニクス株式会社 製造）
＊金、ニッケル、チタン、クロムなどの薄膜を基板上に形成できます。マイクロ流路内への電極作製などが可能です。
講師 ：橋本 将明 先生（慶應義塾大学理工学部 助教）
場所 ：かわさき新産業創造センター AIRBIC会議室６（川崎市幸区新川崎７-７ 新川崎・創造のもり）
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主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市