２０２５年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、
ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
今年度第８回として、プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて原理の講習と、
さらにNANOBICの装置を使って実習を行なっていただくことで、その技術を習得できます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。
日時：２０２５年７月１７日（木） １３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
費用：13,000円
定員：先着５名程度
実習内容：プラズマを使ったガラスの深掘りエッチングについて原理の講習と、実際の装置を使った実習を行います。
実習機器：高密度プラズマドライエッチング装置 NLD-570（株式会社アルバック製）
講師 ：塚原 剛彦 先生 （東京科学大学 総合研究院 ゼロカーボンエネルギー研究所 教授）
場所 ：かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室１（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり）
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主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市