２０２５年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、
ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
今年度第13回として、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。
また、実際に装置を使った実習会も行います。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。
日時：２０２５年１０月９日（木） １３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
費用：13,000円
定員：先着５名程度
実習内容：プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行います。
実習機器：ECRイオンビームスパッタ成膜装置 EIS-230W（株式会社エリオニクス製造）
講師 ：茂木 克雄 先生 （東京電機大学工学部 電子システム工学科 教授）
場所 ：かわさき新産業創造センター AIRBIC会議室８（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり）
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主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市