新川崎にあるNANOBICオープンラボにおいて、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
本年度第18回として、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習し、実際に装置を使って実習していただきます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。
日時：２０２３年１２月１４日（木） １３:３０～１６:３０（講習１時間、実習２時間）
費用：13,000円
定員：先着５名程度
実習内容：プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習し、実際に装置を使って実習していただきます。
実習機器：４元マグネトロンサイドスパッタ装置 CFS-４EP-LL 製造：芝浦メカトロニクス株式会社
講師 ：橋本 将明 先生（慶應義塾大学理工学部 助教）
場所 ：かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室１（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり）
▶ アクセス
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今後の実施計画： ▶ 年間スケジュール
実習会参加申込： ▶ 申込フォーム
主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市
※なお、第７回「パッケージ」は都合により延期しています。開催時期は未定です。
本講習・実習会は、日本工学会ECE（高度技術者教育）プログラムの認定のもと実施しており、
所期の成績を収めた方には修了証とNano Fab Square Award 各賞を授与いたします。▶ECE認定プログラムコース案内