2024年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
本年度第15回として、感光性レジストを均一膜厚に全自動塗布する装置の仕組みについて講習を行ないます。
さらにNANOBICの装置を使って実習を行なっていただくことで、その技術を習得できます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。
※なお、都合により延期となっていた第８回「ガラスエッチング」は11月21日(木)開催を予定しております。
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日時：2024年１０月３１日（木） 13：30 ～ 16：30（講習１時間、実習２時間）
費用：13,000円
定員：先着５名程度
実習内容：感光性レジストを均一膜厚に全自動塗布する装置の仕組みについて講習を行ないます。
さらにNANOBICの装置を使って実習を行なっていただくことで、その技術を習得できます。
実習機器：クラスタ型コータデベロッパGAMMA（ズース・マイクロテック㈱製造）
スピンコータ（ミカサ㈱製造）
講師 ：田口 良広 先生（慶應義塾大学 理工学部 教授）
場所 ：かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室１（川崎市幸区新川崎７-７ 新川崎・創造のもり）
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主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市