２０２５年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、
ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催します。
今年度第７回として、シリコンの深掘り加工の原理や応用事例について講習を行います。
さらにNANOBICの装置を使って実習を行っていただくことで、その技術を習得できます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。
日時：２０２５年７月３日（木） １３：３０～１６：３０（講習１時間、実習２時間）
費用：13,000円
定員：先着５名程度
実習内容：シリコンの深掘り加工の体験実習
実習機器：シリコン深掘りDRIE装置 MUC-21（住友精密工業株式会社製）
講師 ：野﨑 義人 先生 （早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構次席研究員）
場所 ：かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室１（川崎市幸区新川崎７－７ 新川崎・創造のもり）
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主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市