クリーンルーム（379m2）
クラス10000（206m2）のホワイトルームとクラス100（173m2）のイエロールームがあります。
微細加工、評価・計測が可能です
ナノ・マイクロサイズのデバイスは、成膜→パターニング（露光・フォトリソグラフィ）→エッチング→評価・計測という流れで作製されます。
NANOBICには、それぞれの作業に必要な約35台以上の各種装置が導入されています。同じ作業分野でも装置によって機能が異なり、NANOBICでは、さまざまな技術開発に対応できる研究機器を整備しています。
もっと詳しく知りたい方
装置紹介や加工例、観察例などを下記のパンフレットに載せています。どうぞご覧ください。
設備一覧のページも用意しております。