2022年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。
本年度第18回として、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行います。
（第16回は12月22日（木）に延期しました）
参加ご希望の方は申込用紙を下記URLからダウンロードして、オープンラボ事務局宛のメールに添付してお送り下さい。
日時：2022年12月15日（木） 13：30 ～ 16：30
費用：11,000円（実費+コロナ対策費）
定員：先着５名程度
講師：田口 良広 先生 （慶應義塾大学理工学部 教授）
実習内容：プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行います。
実習機器：4元マグネトロンサイドスパッタ装置 CFS4EP LL 芝浦メカトロニクス株式会社製
金、ニッケル、チタン、クロムなどの薄膜を基板上に形成できます。マイクロ流路内への電極作製などが可能です。
場所：かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室１（川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり）
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主催：４大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市