【終了しました】ナノファブスクエア第18回『金属薄膜形成 2』開催案内

2022年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催しています。

本年度第18回として、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行います。
(第16回は12月22日(木)に延期しました)

参加ご希望の方は申込用紙を下記URLからダウンロードして、オープンラボ事務局宛のメールに添付してお送り下さい。

日時:2022年12月15日(木) 13:30 ~ 16:30

費用:11,000円(実費+コロナ対策費)

定員:先着5名程度

講師:田口 良広 先生 (慶應義塾大学理工学部 教授)

実習内容:プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行います。

実習機器:4元マグネトロンサイドスパッタ装置 CFS4EP LL  芝浦メカトロニクス株式会社製
     金、ニッケル、チタン、クロムなどの薄膜を基板上に形成できます。マイクロ流路内への電極作製などが可能です。

場所:かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室1(川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり)

             ▶ アクセス

実習会案内パンフレット: ▶ ご案内パンフレット

今後の実施計画:     ▶ 年間スケジュール 

実習会参加申込書:    ▶ 申込書  

主催:4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市