2024年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催します。
本年度第13回として、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行ないます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。
※なお、第8回「ガラスエッチング」は都合により延期しています。開催時期は 未定 です。
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日時:2024年10月3日(木) 13:30 ~ 16:30(講習1時間、実習2時間)
費用:13,000円
定員:先着5名程度
実習内容:プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行ないます。
実習機器:ECRイオンビームスパッタ成膜装置 EIS-230W(株式会社エリオニクス製)
講師 :茂木 克雄 先生(東京電機大学 工学部 教授)
場所 :かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室1(川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり)
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今後の実施計画: ▶ 年間スケジュール
実習会参加申込: ▶ 申込フォーム
お問い合わせ: ▶ (クリックするとメーラーが開きます)主催:4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市