【終了しました】ナノファブスクエア第13回【金属薄膜形成1】開催案内

2024年度も、新川崎にあるNANOBICオープンラボ において、ナノ・マイクロデバイスの研究開発に必要な加工・分析・観察・評価技術について、
理論から装置の操作方法までを習得できる講習・実習会をシリーズで開催します。

本年度第13回として、プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行ないます。
参加ご希望の方は下記の申込フォームよりお申込みください。

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日時:2024年10月3日(木) 13:30 ~ 16:30(講習1時間、実習2時間)

費用:13,000円

定員:先着5名程度

実習内容:プラズマを使った金属薄膜形成法の原理について講習します。また、実際に装置を使った実習会も行ないます。

実習機器:ECRイオンビームスパッタ成膜装置 EIS-230W(株式会社エリオニクス製)

講師  :茂木 克雄 先生(東京電機大学 工学部 教授)

場所  :かわさき新産業創造センター AIRBIC 会議室1(川崎市幸区新川崎7-7 新川崎・創造のもり)

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今後の実施計画:     ▶ 年間スケジュール

実習会参加申込:        ▶ 申込フォーム

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主催:4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアム、(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)、川崎市